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探针台阶仪 D-100 美国 KLA 租赁

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详细介绍 DETAIL

主要技术指标：扫描长度：≤30mm；垂直测量范围（最大台阶高度）：≤1.9mm；扫描速度：2μm/s到200μm/s；垂直范围分辨率：2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm；重复精度：0.

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